CoPt和CoPt/Ag合金薄膜的结构和磁性能
来源期刊:稀有金属材料与工程2005年第11期
论文作者:许小红 杨治广 武海顺
关键词:CoPt薄膜; 厚度; Ag底层; 结构; 磁性能;
摘 要:用磁控溅射法在玻璃基片上制备了具有等原子比组成的不同厚度的CoPt薄膜及不同Ag底层厚度的CoPt/Ag薄膜.真空退火后的结果表明,膜厚对CoPt薄膜的微观结构和磁性能有着重要的影响,膜厚较薄时(δ≤15 nm)有利于易磁化轴(c轴)垂直于膜面取向,从而具有高的垂直磁各向异性;Ag底层可以诱导Ll0-CoPt相的形成并使c轴垂直择优取向,且Ag底层越厚其诱导效应越强.
许小红1,杨治广1,武海顺1
(1.山西师范大学,山西,临汾,041004)
摘要:用磁控溅射法在玻璃基片上制备了具有等原子比组成的不同厚度的CoPt薄膜及不同Ag底层厚度的CoPt/Ag薄膜.真空退火后的结果表明,膜厚对CoPt薄膜的微观结构和磁性能有着重要的影响,膜厚较薄时(δ≤15 nm)有利于易磁化轴(c轴)垂直于膜面取向,从而具有高的垂直磁各向异性;Ag底层可以诱导Ll0-CoPt相的形成并使c轴垂直择优取向,且Ag底层越厚其诱导效应越强.
关键词:CoPt薄膜; 厚度; Ag底层; 结构; 磁性能;
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