镁合金表面磁控溅射沉积铝膜的力学性能

来源期刊：工程科学学报2008年第12期

论文作者：张津 杨栋华 王东亚 欧信兵 王振林

文章页码：1388 - 1392

关键词：镁合金;磁控溅射;铝膜;力学性能;纳米划痕;纳米压痕;

摘    要：采用直流磁控溅射法在镁合金上沉积铝膜,在高真空下对铝膜进行加热后处理.用X射线衍射仪(XRD)分析膜层为纯铝多晶态,扫描电子显微镜(SEM)观察铝膜晶粒细小.采用纳米压痕/划痕仪对铝膜的厚度、临界附着力、硬度和弹性模量进行了测试,并且用辉光放电光谱仪(GDS)测试了镁合金表面铝膜的成分和性能随薄膜深度的分布.结果表明,铝膜的厚度随后处理温度的升高而降低,其表面硬度和弹性模量高于镁合金基体并且随深度增加而逐渐降低.铝膜与镁合金基体间存在一个过渡层,结合良好且表现出一定的弹塑性能,有利于镁合金表面的防护.