中频反应磁控溅射Al₂O₃薄膜的光学性质

廖国进¹，闻立时²，巴德纯¹，刘斯明³

1. 东北大学机械工程与自动化学院2. 中国科学院金属研究所表面工程部3. 北京航空航天大学机械工程与自动化学院

摘 要：采用中频反应磁控溅射技术在玻璃基片上制备了Al2O3薄膜,提出了一种利用透射光谱来简单有效地分析弱吸收薄膜的光学特性及与光学相关的其他物理特性的方法.对Al2O3薄膜进行透射谱测量,通过对薄膜折射率、吸收系数、膜厚度与入射光波长相互关系的分析,获得了Al2O3薄膜在400~1 100 nm区域内的折射率、吸收系数与入射光波长的关系式,以及Al2O3薄膜厚度的计算公式.

关键词：Al2O3薄膜;光学性质;折射率;吸收系数;膜厚度;