薄膜钝化过程研究方法及其应用
来源期刊：工程科学学报1994年第S1期
论文作者：周虹晖 李辉勤 孙冬柏 杨德钧
关键词：薄膜;钝化;断裂;擦伤;
摘 要：根据传统擦伤电极试验原理，自行设计了一套用于薄膜材料钝化过程研究的装置，由于它采用的是断裂方式产生裸表面，因而克服了传统擦伤方式裸表面逐渐暴露于介质的弱点，能直接测量到真实反映钝化过程的电流衰减曲线。利用这套装置对磁控溅射晶态与非晶态不锈钢合金薄膜在３．５％ＮａＣｌ溶液中的钝化过程进行了比较研究，结果表明非晶薄膜的裸表面具有更高的反应活性及更快的钝化膜形成速度。
周虹晖，李辉勤，孙冬柏，杨德钧
摘 要：根据传统擦伤电极试验原理，自行设计了一套用于薄膜材料钝化过程研究的装置，由于它采用的是断裂方式产生裸表面，因而克服了传统擦伤方式裸表面逐渐暴露于介质的弱点，能直接测量到真实反映钝化过程的电流衰减曲线。利用这套装置对磁控溅射晶态与非晶态不锈钢合金薄膜在３．５％ＮａＣｌ溶液中的钝化过程进行了比较研究，结果表明非晶薄膜的裸表面具有更高的反应活性及更快的钝化膜形成速度。
关键词：薄膜;钝化;断裂;擦伤;
