基于质谱诊断的C₄H₈/H₂等离子体状态在放电腔室的径向分布研究

来源期刊：材料导报2018年第12期

论文作者：艾星 陈果 何小珊 张玲 何智兵 杜凯

文章页码：1943 - 3902

关键词：径向分布;C4H8/H2等离子体;工艺参数;辉光放电聚合物;

摘    要：利用质谱研究了不同工艺参数下C₄H₈/H₂等离子体的离子组分和能量的径向分布规律,并分析了CH片段的裂解与聚合过程。结果表明,当工作压强较低时（≤7Pa）,小分子CH片段的相对密度随径向距离的增大而逐渐减小,大分子CH片段则逐渐增多;随着工作压强的增大,CH片段的相对密度达到极值所对应的径向距离逐渐增大。当射频功率一定时,小分子CH片段的相对密度随径向距离增大而减小,大分子CH片段则逐渐增多。此外,离子能量随径向距离的增大均呈现出逐渐减小的趋势。当工作压强为3Pa、射频功率为20 W时,C₄H₈/H₂等离子体中CH片段的径向分布最均匀,有利于提高辉光放电聚合物薄膜结构与组分的均匀性。