环境温湿度对压磁柔性薄膜力敏性能的影响

李晓敏¹，朱正吼¹，周佳¹，黄渝鸿²，吴菊英²，谢文硕¹

1. 南昌大学材料科学与工程学院2. 中国工程物理研究院总体工程研究所

摘 要：以粉体含量为83.3%(质量分数)、薄膜厚度为200μm的FeCuNbSiB非晶粉/硅橡胶复合薄膜为研究对象,通过控制薄膜所处的外界环境温湿度,系统研究了环境温湿度的改变对压磁柔性薄膜力敏性能的影响,从而为以压磁柔性薄膜为核心元件的压磁式传感器的应用开发提供有价值的参考。实验结果表明,环境温湿度变化对FeCuNbSiB非晶粉/硅橡胶复合薄膜的力敏性能有较大影响。随着环境温湿度的升高,灵敏度|ΔZ|和应力阻抗效应SI%呈折线变化趋势。频率为1kHz时,|ΔZ|和SI%的变化幅度最大,随着频率升高,|ΔZ|和SI%的变化幅度减小;在环境温度为25℃,湿度为40%RH条件下,FeCuNbSiB非晶粉/硅橡胶复合薄膜具有最佳的力敏性能。在频率为1kHz,压应力为0.13和1MPa条件下,|ΔZ|和SI%值的变化幅值分别高达827.37kΩ和37.36。

关键词：环境温度;环境湿度;FeCuNbSiB;复合薄膜;力敏性能;