方形基片旋涂法镀疏水性二氧化硅减反膜（英文）
来源期刊：稀有金属材料与工程2012年第S3期
论文作者：沈斌 李海元 熊怀 唐永兴
文章页码：300 - 303
关键词：溶胶-凝胶;减反膜;疏水性;旋涂法;
摘 要：在方形基片上通过旋涂法制备了疏水性膜层。研究了减小几何效应和伯努利效应对膜层均匀性的影响。结果表明,疏水性氧化硅溶胶具有良好的稳定性。疏水性氧化硅膜层即使不进行热处理也有良好的防潮性能。在室温下和超过90%相对湿度环境下的膜层透过率分别达到99.5%和99%,水接触角分别达到1 36°和139°。关于改性溶胶,刚制备完成测得的平均粒度是35.27 nm,放置50天后测得的平均粒度是37.15 nm。
沈斌，李海元，熊怀，唐永兴
中国科学院上海光学精密机械研究所 高功率激光物理国家实验室
摘 要：在方形基片上通过旋涂法制备了疏水性膜层。研究了减小几何效应和伯努利效应对膜层均匀性的影响。结果表明,疏水性氧化硅溶胶具有良好的稳定性。疏水性氧化硅膜层即使不进行热处理也有良好的防潮性能。在室温下和超过90%相对湿度环境下的膜层透过率分别达到99.5%和99%,水接触角分别达到1 36°和139°。关于改性溶胶,刚制备完成测得的平均粒度是35.27 nm,放置50天后测得的平均粒度是37.15 nm。
关键词：溶胶-凝胶;减反膜;疏水性;旋涂法;
