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多晶硅薄膜太阳能电池的衬底材料和制备工艺

来源期刊：稀有金属材料与工程2005年增刊第1期

论文作者：张立明许颖王文静张厚兴黄勇李海峰万之坚

关键词：陶瓷衬底; 多晶硅薄膜; 太阳能电池;

摘要：研究了太阳能电池的发展历程,详细介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的各种工艺,阐述了在实际研究过程中沉积大晶粒多晶硅薄膜的技术路线和工艺,并对多晶硅薄膜太阳能电池的研究趋势做了展望.

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张立明¹，许颖²，王文静²，张厚兴¹，黄勇¹，李海峰³，万之坚¹

(1.清华大学,材料科学与工程系,北京,100084;
2.北京市太阳能研究所,北京,100083;
3.清华大学,深圳研究生院,广东,深圳,518057)

摘要:研究了太阳能电池的发展历程,详细介绍了多晶硅薄膜太阳能电池的各种工艺,阐述了在实际研究过程中沉积大晶粒多晶硅薄膜的技术路线和工艺,并对多晶硅薄膜太阳能电池的研究趋势做了展望.

关键词:陶瓷衬底; 多晶硅薄膜; 太阳能电池;

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