阴极弧离子镀TiCN涂层的SEM-EDS面扫描与线扫描分析（英文）

来源期刊：稀有金属材料与工程2015年第12期

论文作者：孔德军 王进春 郭皓元 王文昌

文章页码：3000 - 3004

关键词：TiCN涂层;SEM-EDS面扫描;SEM-EDS线扫描;结合强度;

摘    要：采用阴极弧离子镀在Cr12MoV冷作模具钢表面制备了TiCN涂层,通过扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)分析了涂层表面化学元素的面分布和界面化学元素的线分布。讨论了涂层界面结合机理,用划痕法对结合强度进行了表征分析。结果表明,涂层主要是由TiN、TiC和C原子组成,其中TiN和TiC提高了涂层硬度,C原子改善了涂层摩擦润滑性能;涂层中N原子分数超过C原子分数,界面结合处发生了相互扩散,涂层中C原子扩散量最大,基体中Si原子扩散量最大,涂层与基体形成了冶金结合,利用划痕法测定TiCN涂层结合强度为79.6 N。