酸/碱两步催化工艺中硅溶胶稳定性研究(英文)
来源期刊：稀有金属材料与工程2010年第S2期
论文作者：董东 刘孝波 胡文成
文章页码：61 - 64
关键词：硅溶胶;两步催化法;稳定性;胶凝时间;
摘 要：采用酸/碱两步催化法制备多孔二氧化硅膜,通过将酸性硅溶胶和碱性硅溶胶按一定比例混合得到所需镀膜溶胶,但其稳定性较差。主要对混合硅溶胶的稳定性进行了研究,较详细讨论了碱性胶/酸性胶摩尔比、酸性胶陈化时间和碱性胶陈化时间对混合溶胶胶凝时间的影响,并对影响凝胶稳定性的原因进行了分析。
董东，刘孝波，胡文成
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
摘 要：采用酸/碱两步催化法制备多孔二氧化硅膜,通过将酸性硅溶胶和碱性硅溶胶按一定比例混合得到所需镀膜溶胶,但其稳定性较差。主要对混合硅溶胶的稳定性进行了研究,较详细讨论了碱性胶/酸性胶摩尔比、酸性胶陈化时间和碱性胶陈化时间对混合溶胶胶凝时间的影响,并对影响凝胶稳定性的原因进行了分析。
关键词：硅溶胶;两步催化法;稳定性;胶凝时间;
