钛酸锶晶体退火过程中氧扩散的有限元分析

来源期刊：材料导报2015年第24期

论文作者：刘旭东 毕孝国 蔡云平 唐坚 孙旭东

文章页码：98 - 206

关键词：光学晶体;退火;氧扩散;有限元模拟;

摘    要：针对钛酸锶晶体退火过程中氧原子的扩散问题建立了二维有限元模型,研究了温度、晶体尺寸、退火时间对氧原子扩散状态的影响规律。结果表明:氧在短时间内以大通量从晶体表面扩散,然后以小通量比较稳定地向内部缓慢扩散,温度越高,氧扩散到中心时间越短,在700K、800K、900K条件下退火50h,氧从晶体表面扩散到中心的时间分别为8h、5h和3h,退火深度分别为1mm、3mm和退透。