微区电沉积技术及其研究进展
来源期刊:功能材料2016年第10期
论文作者:徐晨 刘德荣 刘磊 胡文彬 吴忠
文章页码:10036 - 10043
关键词:微区电沉积;3D结构;技术概况;
摘 要:微纳尺度的三维结构构造技术存在成本高、效率低、环境依赖性强等问题,微区电沉积技术的发展在一定程度上解决了上述问题。介绍了微区电沉积的技术原理、过程控制以及研究现状,讨论了微区电沉积研究中的参数优化、过程模拟与技术发展,并对微区电沉积技术未来的研究重点与发展趋势进行了展望。
徐晨,刘德荣,刘磊,胡文彬,吴忠
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室
摘 要:微纳尺度的三维结构构造技术存在成本高、效率低、环境依赖性强等问题,微区电沉积技术的发展在一定程度上解决了上述问题。介绍了微区电沉积的技术原理、过程控制以及研究现状,讨论了微区电沉积研究中的参数优化、过程模拟与技术发展,并对微区电沉积技术未来的研究重点与发展趋势进行了展望。
关键词:微区电沉积;3D结构;技术概况;