基体温度对线性离子束技术制备α-C∶H薄膜结构和性能的影响

来源期刊：机械工程材料2015年第7期

论文作者：黄雷 袁军堂 汪振华 于斌斌

文章页码：31 - 132

关键词：线性离子束;α-C∶H薄膜;基体温度;显微结构;性能;

摘    要：采用线性离子束镀膜技术在YG6硬质合金上沉积氢化类金刚石（α-C∶H）薄膜,通过原子力显微镜、Raman光谱仪、球磨仪和洛氏压力仪等研究了基体温度对α-C∶H薄膜微观结构、表面形貌、耐磨性以及膜基结合性能的影响。结果表明:随着基体温度升高,薄膜中sp3键含量和耐磨性能先降低后提高,表面粗糙度先减小后增大;基体温度在80℃时,制备的薄膜最为光滑,而sp3键含量最低,薄膜耐磨性最差;基体温度对膜基结合性能没有明显的影响。