乙二胺四乙酸含量对M型钡铁氧体薄膜磁性能和微波性能的影响
来源期刊：磁性材料及器件2015年第1期
论文作者：常乐 刘颖力 陈大明 王雨
文章页码：26 - 31
关键词：M型钡铁氧体薄膜;结构;磁性能;微波性能;
摘 要：采用有机金属裂解法在Pt/TiO2/SiO2/Si基板上制备M型钡铁氧体（Ba M）薄膜,并着重研究了螯合剂乙二胺四乙酸（EDTA）含量对Ba M薄膜结构、磁性和微波性能的影响。研究发现,当EDTA∶（Ba2++Fe3+）=1（摩尔比）时,Ba M薄膜形成较多的六角形状晶粒,而且磁性能和微波性能较佳,沿c轴生长的取向度高达0.91,饱和磁化强度Ms为302k A/m（μ0Ms=0.38T）,在50GHz时铁磁共振线宽ΔH为22k A/m（277Oe）。这是因为适量的EDTA不仅在溶液挥发时能够阻止金属离子的分离和间歇性的沉淀,并且能够促进成形成均匀的前驱液,从而在前驱液分解时能促进形成Ba M,在经过热处理后易形成沿c轴取向、具有六角形状晶粒的Ba M薄膜。
常乐1，刘颖力2,3，陈大明3，王雨3
1. 中国电子科技集团公司2. 东莞电子科技大学信息工程研究院3. 电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
摘 要：采用有机金属裂解法在Pt/TiO2/SiO2/Si基板上制备M型钡铁氧体（Ba M）薄膜,并着重研究了螯合剂乙二胺四乙酸（EDTA）含量对Ba M薄膜结构、磁性和微波性能的影响。研究发现,当EDTA∶（Ba2++Fe3+）=1（摩尔比）时,Ba M薄膜形成较多的六角形状晶粒,而且磁性能和微波性能较佳,沿c轴生长的取向度高达0.91,饱和磁化强度Ms为302k A/m（μ0Ms=0.38T）,在50GHz时铁磁共振线宽ΔH为22k A/m（277Oe）。这是因为适量的EDTA不仅在溶液挥发时能够阻止金属离子的分离和间歇性的沉淀,并且能够促进成形成均匀的前驱液,从而在前驱液分解时能促进形成Ba M,在经过热处理后易形成沿c轴取向、具有六角形状晶粒的Ba M薄膜。
关键词：M型钡铁氧体薄膜;结构;磁性能;微波性能;
