X Series Ⅱ型电感耦合等离子体质谱仪的故障解析

张庸¹，闫秀芬¹，杨丽¹，詹秀嫣¹，孙莹²，苗峰¹，夏冬¹，刘畅¹，苏莉¹

1. 中航工业沈阳黎明航空发动机(集团)有限责任公司技术中心2. 中科院金属研究所

摘 要：<正>电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）是最有冲击力的分析技术,广泛应用于地质、环境、冶金、生物、医学、工业等多个领域[1]。由于该技术是电感耦合等离子体发射光谱仪与火花源质谱仪核心技术的结合体,构成复杂。虽然目前各厂家的产品已日趋小型化、精密化,但对于新手而言,操作与维护还是相对困难,往往遇到故障就会停机等待,严重降低了使用效率。国内有关电感耦合等离子体质谱仪维修已有文献[2-4]报道,但主要着眼于局部的故障,而

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