高压热处理AlN陶瓷晶体的生长动力学

李小雷^1,2，王红亮¹，张世杰¹，巩帅¹，马红安²

1. 河南理工大学材料科学与工程学院2. 吉林大学超硬材料国家重点实验室

摘 要：利用国产六面顶压机,对AlN（Y₂O₃）陶瓷进行了高压（5.0 GPa）热处理,对高压热处理AlN陶瓷的宏观动力学进行了研究。结果表明:超高压热处理时,温度越高、热处理时间越长,AlN晶粒粒径越大,晶体结构越完整。动力学分析表明,在热处理温度范围内（970¹210℃）,AlN晶体生长动力学指数为3,晶体生长激活能为（50.6±9.6）k J/mol。高压热处理时,AlN试样内部物质迁移的主要机制是压力强化的体积扩散。

关键词：高压热处理;AlN陶瓷;动力学;晶体生长;