TiN/TiCN多层调制结构薄膜的结构和力学性能研究

任鑫¹，江仁康¹，赵瑞山¹，王丞¹，黄美东²

1. 辽宁工程技术大学材料科学与工程学院2. 天津师范大学物理与材料科学学院

摘 要：以304不锈钢为基体,利用复合离子镀技术制备了TiN/TiCN多层膜,主要研究了不同调制周期下薄膜组织结构和力学性能的变化规律。结果表明:不同调制周期下得到的TiN/TiCN多层膜表面比较致密、平整,随着调制周期的减小,表面质量有一定改善。多层膜结构主要由fcc-TiN型固溶体构成,不存在a-C结构。随着调制周期的减小,物相分析表明TiN/TiCN多层膜发生了择优生长,出现了（111）晶面生长织构,其纳米硬度和弹性模量逐渐增大,在调制周期λ=0.15μm时达到最大值,分别为35.56GPa和436.2GPa。

关键词：TiN/TiCN多层膜薄膜;复合离子镀;调制周期;结构;力学性能;