射频/直流磁控溅射316L不锈钢/陶瓷复合薄膜组织与性能的研究*
来源期刊：材料导报2001年第4期
论文作者：曾鹏 胡社军 温伟祥 盛钢 谢光荣 盛忠 黄拿灿 胡显奇 吴起白
关键词：司; 射频/直流磁控溅射; 不锈钢/陶瓷薄膜; 组织; 性能;
摘 要：利用射频/直流磁控溅射法,制备了316L不锈钢/SiO2(Al2O3)复合膜,研究了薄膜的组织和形貌,测试了薄膜的显微硬度和耐磨性.结果表明,溅射316L不锈钢薄膜和316L/SiO2(Al2O3)复合薄膜都呈柱状晶结构,主要由Fe-Cr和γ-Fe相构成;溅射316L不锈钢薄膜在Fe-Cr(110)晶面出现明显的择优取向;由于射频溅射陶瓷的掺合,使316L不锈钢/陶瓷复合薄膜柱状晶细化,并出现二次柱状晶,在Fe-Cr(211)晶面出现明显的择优取向,尽管316L不锈钢/陶瓷复合膜的显微硬度相对于磁控溅射316L薄膜提高不大,但其抗磨损性能明显提高,以316L/Al2O3复合膜尤为显著.
曾鹏1，胡社军1，温伟祥1，盛钢2，谢光荣1，盛忠2，黄拿灿1，胡显奇2，吴起白1
(1.广东工业大学材料与能源学院,;
2.深圳市黄金屋真空科技有限公司,)
摘要:利用射频/直流磁控溅射法,制备了316L不锈钢/SiO2(Al2O3)复合膜,研究了薄膜的组织和形貌,测试了薄膜的显微硬度和耐磨性.结果表明,溅射316L不锈钢薄膜和316L/SiO2(Al2O3)复合薄膜都呈柱状晶结构,主要由Fe-Cr和γ-Fe相构成;溅射316L不锈钢薄膜在Fe-Cr(110)晶面出现明显的择优取向;由于射频溅射陶瓷的掺合,使316L不锈钢/陶瓷复合薄膜柱状晶细化,并出现二次柱状晶,在Fe-Cr(211)晶面出现明显的择优取向,尽管316L不锈钢/陶瓷复合膜的显微硬度相对于磁控溅射316L薄膜提高不大,但其抗磨损性能明显提高,以316L/Al2O3复合膜尤为显著.
关键词:司; 射频/直流磁控溅射; 不锈钢/陶瓷薄膜; 组织; 性能;
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