金刚石线锯切割大直径SiC单晶
来源期刊：功能材料2005年第10期
论文作者：王继扬 陈秀芳 胡小波 马德营 蒋民华 徐现刚 李娟
关键词：金刚石线; SiC; 翘曲度;
摘 要：采用金刚石线切割大直径的SiC单晶,研究了金刚石线锯的切割机理和切割参数,给出切割SiC单晶的实验结果.研究了金刚石线的寿命及各切割参数对线径减少量、翘曲度、表面粗糙度的影响.用光学显微镜观察了磨损的金刚石线和切割表面.
王继扬1，陈秀芳1，胡小波1，马德营1，蒋民华1，徐现刚1，李娟1
(1.山东大学,晶体材料国家重点实验室,山东,济南,250100)
摘要:采用金刚石线切割大直径的SiC单晶,研究了金刚石线锯的切割机理和切割参数,给出切割SiC单晶的实验结果.研究了金刚石线的寿命及各切割参数对线径减少量、翘曲度、表面粗糙度的影响.用光学显微镜观察了磨损的金刚石线和切割表面.
关键词:金刚石线; SiC; 翘曲度;
【全文内容正在添加中】
