三氯氢硅中磷元素测量方法研究

来源期刊：中国有色金属2011年第S2期

论文作者：石云峰 卢德香 李江涛 谭浩 左宇 李琳

文章页码：515 - 517

关键词：磷元素;三氯氢硅;质谱仪;光谱仪;

摘    要：综述使用电感耦合等离子体质谱仪、电感耦合等离子体发射光谱仪、以及化学分析法对氯硅烷中磷元素进行测量,分别讨论了电感耦合等离子体质谱仪、电感耦合等离子体发射光谱仪以及化学分析法对磷元素测量的效果以及不足之处,通过实验发现在电感耦合等离子质谱仪主要受到硝酸基体以及硅基体的干扰严重,而电感耦合等离子体发射光谱仪受到铜元素、钼元素干扰严重,通过实验数据分析,目前可以用这两台仪器检测磷元素检出限为10ug/L。