铜铟镓硒薄膜的真空制备工艺及靶材研究现状
来源期刊：功能材料2013年第14期
论文作者：张冷 张维佳 宋登元 张辉 张雷 马强 刘嘉 吴然嵩 马晓波
文章页码：1990 - 1994
关键词：CIGS;真空;薄膜;溅射靶;
摘 要：阐述了两种真空法制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜的工艺原理和工艺过程,比较和分析了两工艺的优缺点;介绍了溅射靶材的熔融铸造法和粉末冶金法,列举了靶材制备中所需的温度、压强、保温时间等参数。最后分析认为,用均匀细小的黄铜矿相CIGS粉末压制烧结成四元靶材,经溅射成膜后退火处理,可制备出优异的CIGS薄膜,具有更广阔的应用前景。
张冷1，张维佳1，宋登元2，张辉1，张雷2，马强1，刘嘉1，吴然嵩1，马晓波1
1. 北京航空航天大学物理科学与核能工程学院2. 英利集团有限公司
摘 要：阐述了两种真空法制备铜铟镓硒(CIGS)薄膜的工艺原理和工艺过程,比较和分析了两工艺的优缺点;介绍了溅射靶材的熔融铸造法和粉末冶金法,列举了靶材制备中所需的温度、压强、保温时间等参数。最后分析认为,用均匀细小的黄铜矿相CIGS粉末压制烧结成四元靶材,经溅射成膜后退火处理,可制备出优异的CIGS薄膜,具有更广阔的应用前景。
关键词：CIGS;真空;薄膜;溅射靶;
