TiCl4-NH3-H2体系低温化学气相沉积TiN的机理和条件
来源期刊：工程科学学报1992年第3期
论文作者：马肇曾 张荣明
文章页码：378 - 382
关键词：低温化学气相沉积;TiN;四氯化钛的氨解合物;
摘 要：在TiCl4-NH3-H2体系中,TiN的沉积温度通常在650-950℃,本研究采用TiCl4+H2与NH3+H2两种混和气体,可使TiN的沉积温度降低到500℃。所得TiN的硬度HV0.1=17.67kN·m m-22、a=0.4234nm,550℃时硬度HV0.1=18.91kN·mm-2,580℃HV0.1=20.36kN·mm-2,而其颜色则依次由紫黄变为黄色。350℃部生成TiNCl。TiNCl在402℃开始分解,到800℃分解完毕,其分解反应的表观活化能为131kJ/mol。TiN生成反应表现活比能为67.3kJ/mol。
马肇曾，张荣明
北京科技大学化学系
摘 要：在TiCl4-NH3-H2体系中,TiN的沉积温度通常在650-950℃,本研究采用TiCl4+H2与NH3+H2两种混和气体,可使TiN的沉积温度降低到500℃。所得TiN的硬度HV0.1=17.67kN·m m-22、a=0.4234nm,550℃时硬度HV0.1=18.91kN·mm-2,580℃HV0.1=20.36kN·mm-2,而其颜色则依次由紫黄变为黄色。350℃部生成TiNCl。TiNCl在402℃开始分解,到800℃分解完毕,其分解反应的表观活化能为131kJ/mol。TiN生成反应表现活比能为67.3kJ/mol。
关键词：低温化学气相沉积;TiN;四氯化钛的氨解合物;
