简介概要

磁性微电子机械系统(MMEMS)中的关键问题

来源期刊：磁性材料及器件2005年第1期

论文作者：石玉刘颖力尉旭波张怀武

关键词：磁性MEMS; 线圈; 磁膜;

摘要：磁性微电子机械系统(MMEMS)是在传统的微电子机械系统(MEMS)基础上发展的,它在科学研究及应用领域中有着巨大的潜力.磁性材料和MEMS技术的兼容性问题此前已作为一个重要的问题论述过.本文就磁性MEMS技术中的线圈制作、软磁膜制备及硬磁膜制备等关键性问题加以概述.

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石玉¹，刘颖力¹，尉旭波¹，张怀武¹

(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川成都,610054)

摘要:磁性微电子机械系统(MMEMS)是在传统的微电子机械系统(MEMS)基础上发展的,它在科学研究及应用领域中有着巨大的潜力.磁性材料和MEMS技术的兼容性问题此前已作为一个重要的问题论述过.本文就磁性MEMS技术中的线圈制作、软磁膜制备及硬磁膜制备等关键性问题加以概述.

关键词:磁性MEMS; 线圈; 磁膜;

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