薄膜材料导热行为及其测试和预测
来源期刊：材料科学与工艺2001年第1期
论文作者：王锦昌 奚同庚 刘岩 谢华清
关键词：薄膜; 热导率; 测试;
摘 要：薄膜材料在集成电路、光电子技术、微结构传感器等微电子元件的应用日益广泛，其导热性能直接影响元器件的热噪声，进而对其可靠性和使用性能产生明显影响．薄膜材料导热性能及其测试研究愈益受人瞩目．为此，本文对薄膜材料导热性能及各种测试方法进行了综述，并在分析薄膜微结构模型的基础上，对计算薄膜有效热导率的不同预测方程进行了评述，从而可为薄膜材料的制备工艺和性能变化提供技术判据．
王锦昌1，奚同庚1，刘岩1，谢华清1
(1.中科院上海硅酸盐研究所,)
摘要:薄膜材料在集成电路、光电子技术、微结构传感器等微电子元件的应用日益广泛，其导热性能直接影响元器件的热噪声，进而对其可靠性和使用性能产生明显影响．薄膜材料导热性能及其测试研究愈益受人瞩目．为此，本文对薄膜材料导热性能及各种测试方法进行了综述，并在分析薄膜微结构模型的基础上，对计算薄膜有效热导率的不同预测方程进行了评述，从而可为薄膜材料的制备工艺和性能变化提供技术判据．
关键词:薄膜; 热导率; 测试;
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