Ti-Si-N纳米复合薄膜KMC仿真中有效作用势的拟合

来源期刊：材料导报2011年第20期

论文作者：刘学杰 任元 孙士阳 谭心 贾慧灵

文章页码：149 - 152

关键词：复合材料;有效作用势;Ti-Si-N薄膜;势能面;拟合;

摘    要：为了准确地实现Ti-Si-N纳米复合薄膜生长过程动力学蒙特卡罗（KMC）仿真,采用简单原子之间的有效势拟合了第一性原理计算单粒子在TiN（001）表面的吸附作用和迁移行为。通过计算分别获得Ti、Si、N单粒子沉积在TiN（001）表面有效势的计算参数α、r0和u0。Ti、Si、N单粒子在TiN（001）表面吸附能和迁移激活能拟合相对误差均小于5%,Ti、Si、N单粒子在TiN（001）表面绕2N2Ti岛迁移激活能相对误差小于10%。对势Morse势可以描述简单键性的作用力,对于较复杂的键性其计算原子之间相互作用的准确度降低。