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钛酸锶钡薄膜性能优化研究

来源期刊：绝缘材料2009年第5期

论文作者：黄胜媛韦世章周伟超王军华全

关键词：BST薄膜; 掺杂; 组分梯度;

摘要：综述了钛酸锶钡[Ba1-xSrxTiO3(简称BST)]薄膜的制备方法及研究进展,介绍了衬底和电极材料对BST薄膜性能的影响,讨论了引入缓冲层、掺杂和制备组分梯度薄膜对其性能的影响,并指出了未来BST薄膜材料的研究发展方向.

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黄胜媛¹，韦世章¹，周伟超¹，王军²，华全¹

(1.江西科技师范学院,材料科学与工程学院,南昌,330013;
2.江西科技师范学院,江西省材料表面工程重点实验室,南昌,330013)

摘要:综述了钛酸锶钡[Ba1-xSrxTiO3(简称BST)]薄膜的制备方法及研究进展,介绍了衬底和电极材料对BST薄膜性能的影响,讨论了引入缓冲层、掺杂和制备组分梯度薄膜对其性能的影响,并指出了未来BST薄膜材料的研究发展方向.

关键词:BST薄膜; 掺杂; 组分梯度;

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