过渡金属碳化物和氮化物的制造技术
来源期刊：中国有色冶金1982年第7期
论文作者：熊代幸伸 刘树仁
文章页码：49 - 51
摘 要：<正> 过渡金属碳化物和氮化物,根据其应用的目的、形状和尺寸分为薄膜、须晶、烧结体和单晶。一、薄膜、须晶制造薄膜的物理方法有反应性真空气相淀积、反应性喷涂、反应性离子喷镀法。反应性真空气相淀积是在真空中使金属蒸发、输
熊代幸伸，刘树仁
摘 要：<正> 过渡金属碳化物和氮化物,根据其应用的目的、形状和尺寸分为薄膜、须晶、烧结体和单晶。一、薄膜、须晶制造薄膜的物理方法有反应性真空气相淀积、反应性喷涂、反应性离子喷镀法。反应性真空气相淀积是在真空中使金属蒸发、输
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