新型无铅Na0.5Y0.5TiO3铁电薄膜的制备及性能
来源期刊：机械工程材料2018年第5期
论文作者：刘修锋 葛洋洋 葛大勇 李佳慧 郭聪 代秀红 刘保亭
文章页码：35 - 39
关键词：外延生长;电滞回线;压电响应;肖特基势垒;
摘 要：采用射频磁控溅射法在[001]取向的掺铌钛酸锶（Nb:STO）单晶衬底上制备Na0.5Y0.5TiO3（NYT）铁电薄膜,研究了该铁电薄膜的物相组成、显微结构、铁电性能、电输运性能。结果表明:NYT薄膜具有[001]取向的外延结构,其表面平整,界面清晰,结晶质量良好;NYT薄膜具有铁电性能,其剩余极化强度为0.3μC·cm-2,矫顽场为178kV·cm-1;NYT薄膜/电极界面存在肖特基势垒,反偏状态的肖特基结能够显著降低NYT薄膜的漏电流密度,提高其耐压强度,肖特基结处于正偏状态时的电流传导符合陷阱态控制的空间电荷限制电流机制。
刘修锋，葛洋洋，葛大勇，李佳慧，郭聪，代秀红，刘保亭
河北大学物理科学与技术学院铁性材料与器件研究所
摘 要：采用射频磁控溅射法在[001]取向的掺铌钛酸锶（Nb:STO）单晶衬底上制备Na0.5Y0.5TiO3（NYT）铁电薄膜,研究了该铁电薄膜的物相组成、显微结构、铁电性能、电输运性能。结果表明:NYT薄膜具有[001]取向的外延结构,其表面平整,界面清晰,结晶质量良好;NYT薄膜具有铁电性能,其剩余极化强度为0.3μC·cm-2,矫顽场为178kV·cm-1;NYT薄膜/电极界面存在肖特基势垒,反偏状态的肖特基结能够显著降低NYT薄膜的漏电流密度,提高其耐压强度,肖特基结处于正偏状态时的电流传导符合陷阱态控制的空间电荷限制电流机制。
关键词：外延生长;电滞回线;压电响应;肖特基势垒;
