Fe-Zr-B非晶磁性薄膜的制备与研究
来源期刊：金属功能材料2002年第4期
论文作者：金惠娟 许裕生 程新利 徐炜新
关键词：Fe-Zr-B合金; 非晶薄膜; 直流磁控溅射;
摘 要：用X-射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱、穆斯堡尔谱研究了直流磁控溅射法制备的Fe-Zr-B薄膜.用振动样品磁强计测量了薄膜的磁性能.X-射线衍射和透射电镜结果表明,制备态的薄膜是非晶的;X射线光电子能谱结果表明样品表面氧化较明显,深层部分Fe,Zr,B结合占主导地位;穆斯堡尔谱结果表明薄膜中Fe原子周围Zr,B原子的存在使Fe原子核内场值有所下降并导致超精细场分布P(H)出现双峰结构,薄膜中存在两种不同的局域微结构.
金惠娟1，许裕生2，程新利3，徐炜新1
(1.上海钢铁研究所,上海,200940;
2.江苏省苏州大学,苏州,215006;
3.中科院上海冶金研究所,上海,200050)
摘要:用X-射线衍射、透射电镜、X射线光电子能谱、穆斯堡尔谱研究了直流磁控溅射法制备的Fe-Zr-B薄膜.用振动样品磁强计测量了薄膜的磁性能.X-射线衍射和透射电镜结果表明,制备态的薄膜是非晶的;X射线光电子能谱结果表明样品表面氧化较明显,深层部分Fe,Zr,B结合占主导地位;穆斯堡尔谱结果表明薄膜中Fe原子周围Zr,B原子的存在使Fe原子核内场值有所下降并导致超精细场分布P(H)出现双峰结构,薄膜中存在两种不同的局域微结构.
关键词:Fe-Zr-B合金; 非晶薄膜; 直流磁控溅射;
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