石英管材中羟基的去除
来源期刊:材料与冶金学报2002年第2期
论文作者:李清海 霍玉秋 赵乃仁 翟玉春 张路明
文章页码:158 - 160
关键词:高温氮气法;羟基去除;羟基含量;
摘 要:应用高温氮气法对不同石英材料进行了羟基去除的实验研究 ,考察了温度、时间、氮气流量等因素对去除羟基的影响。结果表明采用高温氮气法去除不同石英样品中羟基效果不同 ,对熔炼石英样品羟基质量分数从 139.2× 10 -6降到小于 1.0× 10 -6,气炼石英单晶片中羟基去除效果不明显
李清海,霍玉秋,赵乃仁,翟玉春,张路明
摘 要:应用高温氮气法对不同石英材料进行了羟基去除的实验研究 ,考察了温度、时间、氮气流量等因素对去除羟基的影响。结果表明采用高温氮气法去除不同石英样品中羟基效果不同 ,对熔炼石英样品羟基质量分数从 139.2× 10 -6降到小于 1.0× 10 -6,气炼石英单晶片中羟基去除效果不明显
关键词:高温氮气法;羟基去除;羟基含量;