Fe掺杂量和退火氛围对TiO₂薄膜晶体结构和磁性能的影响

来源期刊：材料工程2014年第10期

论文作者：顾建军 刘鹏飞 韩金荣 杨淑敏 韩伟 岂云开

文章页码：101 - 105

关键词：稀磁半导体;晶体结构;铁磁性;退火氛围;

摘    要：采用直流磁控溅射方法在玻璃基片上制备了不同Fe掺杂量的TiO2薄膜,并对薄膜分别在空气和真空氛围下500℃进行30min退火处理。研究了Fe掺杂量和退火氛围对TiO2薄膜的结晶状态、表面形貌和磁性能的影响。结果表明,真空中500℃下退火的Fe掺杂的TiO2薄膜表现为非晶态结构,没有观察到室温铁磁性能的出现,而空气中500℃退火的样品显示出良好的结晶状态,且所有掺杂的样品均显示出室温铁磁性,并且随着Fe掺杂量的增加,TiO2薄膜的晶体结构逐渐由锐钛矿相向金红石相转变。