立方氮化硅的研究进展

刘雨生¹，唐敬友²，贺红亮¹，唐翠霞³，寇自力⁴

(1.中国工程物理研究院流体物理研究所冲击波物理与爆轰物理实验室,绵阳,621900;
2.西南科技大学国防科技学院,绵阳,621010;
3.西南科技大学材料科学与工程学院,绵阳,621010;
4.四川大学原子分子物理研究所,成都,610065)

摘要:立方氮化硅作为氮化硅的第三种物相,具有比α-Si3N4、β-Si3N4高的体积模量及硬度,是继金刚石与立方氮化硼之后的第三种超硬材料.从静高压合成与动高压合成两个方面综述了立方氮化硅粉体的合成研究现状,详细阐述了立方氮化硅的晶体结构及性能,介绍了立方氮化硅块体材料的研究进展,并展望了立方氮化硅的应用及研究前景.

关键词:立方氮化硅; 高压合成; 晶体结构; 性能; 块体材料;

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