氧化法热处理温度对氧化钒薄膜热敏特性的影响
来源期刊：材料科学与工程学报2014年第5期
论文作者：徐凯 路远 凌永顺 乔亚 唐聪
文章页码：649 - 652
关键词：氧化钒;氧化法;热处理温度;热敏特性;
摘 要：采用直流磁控溅射法制备氧化钒薄膜,并采用不同的温度对其进行氧化法热处理,通过XRD、SEM、四探针薄膜电阻测试,分析了不同热处理温度对氧化钒薄膜的晶相特性与热敏特性的影响。实验分析证明热处理温度升高后（400℃）得到的薄膜热敏特性良好,其室温电阻为160KΩ·cm,室温电阻温度变化系数为-2.4%/℃,变温过程中（2098℃）其平均值约-1.98%/℃,表明温度升高有利于改善薄膜热敏特性,在非制冷红外探测器应用方面具有发展潜力。
徐凯1,2，路远1,2，凌永顺1,2，乔亚1,2，唐聪1,2
2. 红外与低温等离子体安徽省重点实验室
摘 要：采用直流磁控溅射法制备氧化钒薄膜,并采用不同的温度对其进行氧化法热处理,通过XRD、SEM、四探针薄膜电阻测试,分析了不同热处理温度对氧化钒薄膜的晶相特性与热敏特性的影响。实验分析证明热处理温度升高后（400℃）得到的薄膜热敏特性良好,其室温电阻为160KΩ·cm,室温电阻温度变化系数为-2.4%/℃,变温过程中（2098℃）其平均值约-1.98%/℃,表明温度升高有利于改善薄膜热敏特性,在非制冷红外探测器应用方面具有发展潜力。
关键词：氧化钒;氧化法;热处理温度;热敏特性;
