一种振动膜式双向微型电磁驱动器的制作工艺
来源期刊：机械设计与制造2008年第9期
论文作者：苏宇锋 郭丹 刘德平 陈文元
文章页码：144 - 145
关键词：微驱动器;电磁驱动;硅橡胶(PDMS);电镀;
摘 要：主要阐述一种微型电磁驱动器的制作工艺,该驱动器由振动膜层和线圈层两层构成。振动振动膜材料为硅橡胶薄膜(PDMS,polydimethylsiloxane),在其中嵌入CoNiMnP永磁体阵列,采用电镀方法制作磁体阵列,由甩胶机旋涂硅橡胶并进行固化。磁体阵列中每一个小磁体块的尺寸为(50×50×20)μm,其矫顽力,剩磁和最大磁能积分别为2623Oe(208.73kA/m),0.2T(2000G)和10.15kJ/m3。
苏宇锋1，郭丹1，刘德平1，陈文元2
1. 郑州大学机电一体化研究所2. 上海交通大学微纳米科学技术研究院
摘 要：主要阐述一种微型电磁驱动器的制作工艺,该驱动器由振动膜层和线圈层两层构成。振动振动膜材料为硅橡胶薄膜(PDMS,polydimethylsiloxane),在其中嵌入CoNiMnP永磁体阵列,采用电镀方法制作磁体阵列,由甩胶机旋涂硅橡胶并进行固化。磁体阵列中每一个小磁体块的尺寸为(50×50×20)μm,其矫顽力,剩磁和最大磁能积分别为2623Oe(208.73kA/m),0.2T(2000G)和10.15kJ/m3。
关键词：微驱动器;电磁驱动;硅橡胶(PDMS);电镀;
