Cu/Al₂O₃复合薄膜的制备及其抗氧化性能

来源期刊：材料科学与工程学报2017年第4期

论文作者：盛澄成 徐阳 魏取福 乔辉

文章页码：596 - 1205

关键词：磁控溅射;Cu/Al2O3复合薄膜;屏蔽效能;抗氧化性能;

摘    要：本文在纺织纤维基材表面采用二次溅射沉积法制备了Cu/Al₂O₃复合薄膜,利用扫描电镜（SEM）、X射线能谱仪（EDX）和矢量网络分析仪对室温环境下存放3600h的复合薄膜的表面形貌、元素含量以及屏蔽效能进行了测试,并与相同工艺条件下制备的纯Cu薄膜进行了对比分析。结果表明:与纯Cu薄膜结构的不稳定性相比,由于复合薄膜表层Al₂O₃薄膜的结构稳定性和致密性,Cu/Al₂O₃复合薄膜在保证高屏蔽性能的前提下,具有整体结构的稳定性,表现出了良好的抗氧化性能。