TiO₂过渡层对Si基ZnO薄膜光致发光特性的影响

来源期刊：材料导报2012年第6期

论文作者：张伟英 刘振中 赵建果 刘照军

文章页码：31 - 33

关键词：ZnO薄膜;过渡层;TiO2薄膜;

摘    要：采用直流反应溅射法在Si(100)衬底上制备了有TiO2过渡层的ZnO薄膜,并与直接在Si上生长的样品进行比较。通过X射线衍射技术和光致发光谱等分别对ZnO薄膜的结构和光学性质进行测量和分析。测量结果表明,引入过渡层后ZnO薄膜的平均晶粒尺寸变大,晶粒间界变少,结晶质量提高,薄膜内的应力得到一定程度的释放。此外,室温光致发光谱表明过渡层使ZnO薄膜的紫外发射明显增强,并研究和分析了其微观机理。