提高合成三氯氢硅转化率的研究
来源期刊：云南冶金2017年第6期
论文作者：鲍海林 张建平
文章页码：35 - 38
关键词：三氯氢硅;转化率;合成;
摘 要：三氯氢硅作为制取多晶硅的原料,合成三氯氢硅的转化率直接影响三氯氢硅产品的质量和产量以及生产成本。目前,国内大多数三氯氢硅合成的转化率在80%左右,本文结合生产实际,针对合成转化率进行研究,提高其转化率,降低生产成本。
鲍海林，张建平
昆明冶研新材料股份有限公司
摘 要：三氯氢硅作为制取多晶硅的原料,合成三氯氢硅的转化率直接影响三氯氢硅产品的质量和产量以及生产成本。目前,国内大多数三氯氢硅合成的转化率在80%左右,本文结合生产实际,针对合成转化率进行研究,提高其转化率,降低生产成本。
关键词：三氯氢硅;转化率;合成;
