接近式光刻机间隙分离机构设计
来源期刊：机械设计与制造2008年第7期
论文作者：佟军民 宁玉伟 严伟 胡松
文章页码：43 - 44
关键词：接近式光刻机;螺旋差动机构;微动分辨力;
摘 要：为满足接近式光刻设备中基片和掩模间隙分离的要求,设计了微动分离间隙机构。该结构由螺旋差动机构和杠杆机构组成。采用两同轴且旋向相同,螺距分别为0.7mm和0.8mm的差动螺旋副实现2μm的微动分辨力,进一步经1:2杠杆位移缩小机构实现1μm的间隙分离微调分辨力。试验表明,该机构达到了设计要求,满足了工作需要。
佟军民，宁玉伟，严伟，胡松
中国科学院光电技术研究所河南许昌职业技术学院
摘 要：为满足接近式光刻设备中基片和掩模间隙分离的要求,设计了微动分离间隙机构。该结构由螺旋差动机构和杠杆机构组成。采用两同轴且旋向相同,螺距分别为0.7mm和0.8mm的差动螺旋副实现2μm的微动分辨力,进一步经1:2杠杆位移缩小机构实现1μm的间隙分离微调分辨力。试验表明,该机构达到了设计要求,满足了工作需要。
关键词：接近式光刻机;螺旋差动机构;微动分辨力;
