光重心法在多线阵CCD检测系统中的应用

来源期刊：机械设计与制造2008年第3期

论文作者：郭晓军 顾永刚 邢晓正

文章页码：73 - 75

关键词：线阵CCD;光重心法;扫描梁;动态稳定性;

摘    要：介绍了极坐标下用多个线阵CCD对多目标位置检测系统的稳定性情况及系统的搭建。试验系统主要包括如下几个部分:控制主机,多个线阵CCD,精密旋转台,扫描梁,旋转平台,积分球光源以及自行设计的数据处理程序。采用"光重心法"对光斑信号进行处理。进行的实验测试表明在步距0.05mm时,动态和静态标准差分别为0.58μm和0.32μm,系统稳定性理想。实验结果证明由重心法得到的信号位置具有稳定性好等特点。