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非晶硅太阳能电池生产工艺用氣分析方法研究

来源期刊：分析试验室1993年第3期

论文作者：崔熙鐘唐福君蒋文全林佳王婉英

文章页码：31 - 74

关键词：非晶硅太阳能电池;氢化物;质量流量;多维气相色谱;

摘要：本文对非晶硅太阳能电池制造工艺过程所用的无机氢化物烷类气体硅烷、硼烷、磷烷、甲烷和氢及其混合气的配制与分析方法进行了研究,以微机控制配气、检测程序、气相色谱法分成分析杂质,电容法测水分,方法已应用于工艺过程分析。

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崔熙鐘，唐福君，蒋文全，林佳，王婉英

关键词：非晶硅太阳能电池;氢化物;质量流量;多维气相色谱;