低温沉积银和银铜薄膜的耐原子氧性能

高晓明^1,2，孙嘉奕²，胡明²，翁立军²，伏彦龙²，杨军²，谭洪根¹，张良俊¹

1. 上海市空间飞行器机构重点实验室2. 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室

摘 要：采用多弧离子镀方法在低温(173K)下沉积了银和银铜薄膜,通过地面原子氧模拟试验系统考察了薄膜的耐原子氧性能,通过X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对薄膜的结构和耐原子氧性能进行了分析,并与室温下沉积的银薄膜进行了比较。结果表明:低温沉积和铜元素合金化,可减小银薄膜的晶粒尺寸,并提高其结构致密性;低温沉积的银铜薄膜表现出细密的结构,这有利于抑制原子氧对薄膜的氧化,从而使其比室温及低温下沉积的银薄膜具有更好的耐原子氧性能。

关键词：低温沉积;银铜薄膜;耐原子氧性能;