电子能量的基本原理及其在材料研究中的应用

来源期刊：理化检验物理分册2014年第1期

论文作者：杨云 宋西平

文章页码：19 - 24

关键词：电子能量损失谱;基本原理;应用;材料元素分析;厚度测量;

摘    要：电子能量损失谱(EELS)是一种集材料元素分析和元素成像为一体的现代分析技术,由于其分析精度高、对碳、氮、氧、硼等轻元素敏感,因此被越来越多地应用于材料研究领域,并且由于EELS能反映原子外层的电子状态,还可被用于原子价态变化分析。介绍了EELS的基本原理、基本组成、基本功能以及在材料研究中的应用。结合与其他分析技术之间的比较,对EELS技术在材料研究中的作用进行了评价。