氩气流量对掺铝氧化锌薄膜光电性能的影响
来源期刊：稀有金属材料与工程2018年第S1期
论文作者：杨盼 赵晓冲 杨丽军 顾友辰 林红 赖新春
文章页码：91 - 94
关键词：Ar流量;AZO;薄膜;磁控溅射;
摘 要：采用双靶射频磁控溅射沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为铜锌锡硫(CZTS)太阳能电池的低阻窗口层。研究了在溅射功率60 W、溅射时间30 min的工艺条件下,氩气(Ar)流量对AZO薄膜的结晶性、表面形貌、光透过率、电阻率、载流子浓度等光电性能的影响。结果表明,最优Ar气流量为22 cm~3/min,该流量下AZO晶粒大,结晶性能好,AZO薄膜的载流子浓度高,电阻率小,薄膜在400~1100 nm波长下的光透过率为87.2%。
杨盼1,2，赵晓冲1，杨丽军1，顾友辰2，林红2，赖新春1
1. 表面物理与化学重点实验室2. 清华大学新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室
摘 要：采用双靶射频磁控溅射沉积掺铝氧化锌(AZO)薄膜作为铜锌锡硫(CZTS)太阳能电池的低阻窗口层。研究了在溅射功率60 W、溅射时间30 min的工艺条件下,氩气(Ar)流量对AZO薄膜的结晶性、表面形貌、光透过率、电阻率、载流子浓度等光电性能的影响。结果表明,最优Ar气流量为22 cm~3/min,该流量下AZO晶粒大,结晶性能好,AZO薄膜的载流子浓度高,电阻率小,薄膜在400~1100 nm波长下的光透过率为87.2%。
关键词：Ar流量;AZO;薄膜;磁控溅射;
