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激光能量对碲镉汞注入样品退火效果的影响

来源期刊：功能材料与器件学报2000年第4期

论文作者：张燕李向阳方家熊

关键词：碲镉汞; 激光退火; 迁移率谱;

摘要：利用脉冲YAG激光器对砷注入长波碲镉汞样品进行激光退火,分析不同能量密度的激光光束退火所引起的样品表面电学性质的变化.实验表明,激光能量密度越大,激光退火的效果越明显.我们认为要达到理想退火效果,样品表面一薄层需处于近熔化状态,以得到晶格结构的重新组织.

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张燕¹，李向阳¹，方家熊¹

(1.传感器国家重点实验室,中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083)

摘要:利用脉冲YAG激光器对砷注入长波碲镉汞样品进行激光退火,分析不同能量密度的激光光束退火所引起的样品表面电学性质的变化.实验表明,激光能量密度越大,激光退火的效果越明显.我们认为要达到理想退火效果,样品表面一薄层需处于近熔化状态,以得到晶格结构的重新组织.

关键词:碲镉汞; 激光退火; 迁移率谱;

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