哑铃形碳化硅晶须的微观结构分析

白朔¹，魏永良¹，周本濂¹，沈祖洪¹，苏革¹，成会明¹

(1.中国科学院金属研究所)

摘要:利用透射电子显微镜观察和分析了仿生哑铃形碳化硅晶须的微观结构.这种碳化硅仿生晶须由成分和结构均不相同的两部分构成:中间是直杆状碳化硅晶须,在晶须上包裹着非晶态的念珠状小球.由于成分组成的不同,念珠状小球具有均匀的和不均匀的两种微观结构;由于在其中存在大量的微孪晶、堆垛层错等缺陷,直杆状晶须具有一维无序、竹节状等复杂的微观结构.在具有不同微观结构和形貌的直杆状晶须上,念珠状小球的形状和分布也有所不同.念珠状小球中单质Si的含量是影响仿生晶须颜色的主要因素,Si含量越高则仿生晶须的颜色越深.仿生晶须的生成过程是:先由气相反应生成直杆状碳化硅晶须,然后在直杆状碳化硅晶须上沉积生成非晶态念珠状小球.

关键词:SiC晶须; 仿生; 微观结构;

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