BCN薄膜的结构及性能
来源期刊：稀有金属材料与工程2005年增刊第1期
论文作者：方丽红 徐淑艳 孙明仁 马欣新
关键词：BCN薄膜; 直流磁控溅射; 组织结构; 性能;
摘 要：采用直流磁控溅射法制备了B-C-N薄膜.通过改变基体偏压,研究其对薄膜的成分、结构和力学性能的影响.X射线光电子谱(XPS)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)试验结果表明薄膜中存在着B-C,B-N,C-C和C-N键,说明薄膜中B,C,N 3种元素达到了原子级化合.随基体偏压增大,薄膜无序化程度增强.纳米硬度测试结果表明,随着基体偏压的增,纳米硬度和弹性模量不断增加.
方丽红1，徐淑艳1，孙明仁1，马欣新1
(1.哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,黑龙江,哈尔滨,150001)
摘要:采用直流磁控溅射法制备了B-C-N薄膜.通过改变基体偏压,研究其对薄膜的成分、结构和力学性能的影响.X射线光电子谱(XPS)和傅里叶变换红外光谱(FTIR)试验结果表明薄膜中存在着B-C,B-N,C-C和C-N键,说明薄膜中B,C,N 3种元素达到了原子级化合.随基体偏压增大,薄膜无序化程度增强.纳米硬度测试结果表明,随着基体偏压的增,纳米硬度和弹性模量不断增加.
关键词:BCN薄膜; 直流磁控溅射; 组织结构; 性能;
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