正交试验在能谱仪定量分析中的应用

来源期刊：理化检验物理分册2013年第6期

论文作者：马永恒 杨力

文章页码：378 - 780

关键词：正交试验;能谱定量分析;试验条件;极差分析;方差分析;

摘    要：采用正交试验方法,使用扫描电镜X射线能谱仪对304L不锈钢标样的硅、锰、铬、镍4种元素含量进行了定量测定,研究了加速电压、活时间、束斑直径以及工作距离4个因素对测定结果影响的显著性,并通过极差分析和方差分析的方法得出了最佳试验条件。结果表明:加速电压对测定结果的影响最为显著,活时间和工作距离两者对测定结果的影响相当,束斑直径对测定结果的影响不大;该试验较佳的测试条件为加速电压20 kV,活时间80 s,束斑直径5.6μm,工作距离9.5 mm;在该条件下测得的各元素含量均与标准值非常接近。