溅射气体中氩气含量对Y1Ba2Cu3O7-δ薄膜结构和Tc的影响
来源期刊：中国稀土学报2003年增刊第1期
论文作者：李弢 李季 齐善学 古宏伟 王小平 王霈文
关键词：Y1Ba2Cu2O7-δ; (YBCO)薄膜; 溅射气体组分; (Ar/O2); 超导零电阻温度;
摘 要：采用倒筒直流磁控溅射系统在不同溅射气体组分下(氩氧比不同)原位沉积Y1Ba2Cu2O7-δ(YBCO)薄膜.样品的XRD分析发现在Ar含量过高和过低的溅射气氛下沉积的薄膜存在极少量的BaCuO2第二相, 同时显示薄膜的c轴长度, (006), (007)对(005)峰强度比随着溅射气体中Ar含量的变化而发生改变.通过薄膜超导零电阻温度检测发现, YBCO薄膜的超导零电阻温度Tc随之发生改变.这说明在磁控溅射沉积YBCO薄膜过程中, 溅射气体中Ar气含量影响薄膜各元素的化学计量比, Ar含量过高和过低导致沉积YBCO薄膜晶体结构发生畸变, 恶化超导电性.
李弢1，李季1，齐善学1，古宏伟1，王小平1，王霈文1
(1.北京有色家属研究总院超导中心,北京,100088)
摘要:采用倒筒直流磁控溅射系统在不同溅射气体组分下(氩氧比不同)原位沉积Y1Ba2Cu2O7-δ(YBCO)薄膜.样品的XRD分析发现在Ar含量过高和过低的溅射气氛下沉积的薄膜存在极少量的BaCuO2第二相, 同时显示薄膜的c轴长度, (006), (007)对(005)峰强度比随着溅射气体中Ar含量的变化而发生改变.通过薄膜超导零电阻温度检测发现, YBCO薄膜的超导零电阻温度Tc随之发生改变.这说明在磁控溅射沉积YBCO薄膜过程中, 溅射气体中Ar气含量影响薄膜各元素的化学计量比, Ar含量过高和过低导致沉积YBCO薄膜晶体结构发生畸变, 恶化超导电性.
关键词:Y1Ba2Cu2O7-δ; (YBCO)薄膜; 溅射气体组分; (Ar/O2); 超导零电阻温度;
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