Ti6Al4V表面磁控溅射高硬SiC薄膜的摩擦磨损性能

来源期刊：材料工程2013年第6期

论文作者：潘应晖 许晓静

文章页码：63 - 66

关键词：钛基材;薄膜;纳米压痕;摩擦磨损;磁控溅射;

摘    要：采用室温磁控溅射技术在Ti6Al4V表面制备出高硬SiC薄膜,对其组织结构、纳米压痕行为和摩擦磨损性能进行了研究。结果表明:实验制备的SiC薄膜呈非晶态,其纳米硬度、弹性模量分别为26.8GPa和229.4GPa;在以氮化硅球（半径为2mm）为对摩件的室温Kokubo人体模拟体液下,其磨损速率在10-5 mm3 m-1 N-1级,载荷低（50g）时摩擦因数约为0.173,载荷高（200g）时摩擦因数约为0.280,此时薄膜自身发生局部破裂。