掺杂硅纳米线的研究进展
来源期刊:功能材料与器件学报2004年第4期
论文作者:张勇 唐元洪 陈扬文 裴立宅
关键词:硅纳米线; 掺杂; 性能; 应用;
摘 要:掺杂是制备硅纳米线半导体器件的一个有效手段.介绍了掺杂硅纳米线的最新进展,主 要就掺杂种类,包括硼、磷及锂掺杂硅纳米线,性能测量,包括光致发光特性、电子输运特性、场 发射特性及其近端 X射线吸收精细结构光谱等及在单电子探测器与计数器、存储元件、纳米线 传感器等最新应用研究进展进行了较详细的讨论,最后对掺杂硅纳米线的发展前景作了展望.
张勇1,唐元洪1,陈扬文1,裴立宅1
(1.湖南大学,材料科学与工程学院,湖南长沙,410082)
摘要:掺杂是制备硅纳米线半导体器件的一个有效手段.介绍了掺杂硅纳米线的最新进展,主 要就掺杂种类,包括硼、磷及锂掺杂硅纳米线,性能测量,包括光致发光特性、电子输运特性、场 发射特性及其近端 X射线吸收精细结构光谱等及在单电子探测器与计数器、存储元件、纳米线 传感器等最新应用研究进展进行了较详细的讨论,最后对掺杂硅纳米线的发展前景作了展望.
关键词:硅纳米线; 掺杂; 性能; 应用;
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